由牛津仪器等离子技术公司主办的“牛津仪器纳米级等离子工艺研讨会”在京举行，吸引了来自业内企业及科研院所的160余名用户参与。
成立于1982年的牛津仪器等离子体技术公司隶属纳米分析部，拥有超过30年的工艺经验，超过6000件的工艺库，能刻蚀、沉积或使用超过50%的元素周期表中的自然界元素。应用领域包括高亮度发光二极管、微机电系统MEMS、第三代光伏发电及下一代半导体技术等。拥有遍布全球的销售服务网络，并在英、德、中、美、日等国设立了分公司与办事机构。
会议就微纳米技术在科研领域的新发展、未来的加工趋势、微纳米结构及器件应用等内容进行了探讨和交流。牛津仪器商务发展总监Frazer Anderson先生介绍了牛津仪器及等离子体技术公司的基本情况。随后，中科院半导体所半导体集成技术研究中心主任杨富华教授、牛津仪器MEMS首席工艺科学家Mark McNie先生、台湾工研院微系统技术中心经理Dr.Lin Ching-Yuan、牛津仪器首席技术官Dr.Mike Cooke、牛津仪器III-V族刻蚀应用首席工艺科学家邓力刚博士、牛津仪器HBLED产品经理Dr.Mark Dineen、牛津仪器Ion Beam产品经理梁杰荣博士、中科院半导体所王晓东教授等资深专家和学者分别做了精彩报告。