据科学家们估算，欧洲各国采用的计量单位多达一千多种。pied du roi（国王的脚）是其中的卓越代表，是广泛采用的计量单位。然而，许多商人各自使用自己的测量工具，这为欺诈、勒索和歪曲留下了空间。直到公制系统建立，人类才开始进行度量系统的统一。

法国大革命政府推出了公制系统，即现在的国际单位制。一米最初是指北极经巴黎到赤道之间距离的千万分之一。当然，尽管米的定义经过几个世纪的演变，但至今仍是所有测量工具的参考长度单位。 

摄影术诞生后不久，摄影测量法便已开始使用。这要归功于法国大地测量学家 François Arago。他向法国科学院提出了一种采用三角测量的方法。借助这项技术，他可以基于不同视角拍摄的照片来确定对象的空间位置，而无需预先知道镜头的位置。

法国发明家 J. Palmer 的“System Palmer”获得专利，这是迄今仍广受认可的第一个采用 U 型主架的千分尺。现代的千分尺仍在效仿 System Palmer 的 U 型主架、测微套筒、套筒、测杆、基准座等基本设计。此外，所有千分尺和其他手工工具必须仍可溯源到国际标准。

美国物理学家 Albert A. Michelson 认为，相对以太运动的探测是可以测量的。为此，他发明了一种叫做干涉仪的新仪器。他的实验结果表明，地球没有相对以太运动。这一论据改变了物理学的基础，促进了 1905 年爱因斯坦相对论的诞生。

60 年代初，坐标测量机首次出现，这个仪器由简单的 3D 跟踪设备制成，通过一个简单的数字显示装置 (DRO) 显示 XYZ 位置。最初的 CMM 是由苏格兰的 Ferranti 公司在 50 年代开发。但这台设备只有两个轴。最早的三轴原型于 20 世纪 60 年代诞生，是由意大利公司 DEA（现已归入 Hexagon Metrology Group 旗下）所发明。

之后不久，自动 CMM 于 60 年代问世，用以对 Concorde 超音速喷气发动机执行复杂的检查。在这项发明的带动下，Renishaw 公司于 1973 年成立，现在已经发展成为 CMM 测量头的主要供应商。

80 年代，测量臂式的便携式 CMM 问世，使测量过程发生了翻天覆地的变革：现在，计量工具已走入生产车间。这次创新使人们不必再将制造零部件移动到专用的受控环境中。但是，由于测量臂采用了一项只能依赖于精密机械部件的传统技术，因此这些便携式 CMM 仍非常容易受环境引起的震动和不稳定因素的影响。因此在操作时需要采用相当多的防范措施。

尽管第一台 3D 扫描仪在 60 年代就已经问世，但直到 1985 年，激光技术才应用到 3D 扫描领域。此前，3D 扫描设备使用灯光、照相机和投影仪来完成扫描。但是，对象的准确扫描过程非常耗时耗力。1985 年后，扫描仪开始采用白光、激光和阴影方式来捕捉物体表面。  

首个激光跟踪仪原型由 Kam Lau 博士于 1986 年开发。一年后，Kam Lau 博士创立了自己的公司 Automated Precision Inc.，对跟踪技术进行了完善，提高了建模精度和便携性。激光跟踪器仍是最为先进的大尺寸零部件（如飞行器机翼、汽车车架及大型加工设备）测量解决方案。然而，在高容量测量领域，它们面临着另一项技术——摄影测量的挑战。

光学便携式 CMM

光学便携式 CMM 于千禧年初出现在计量领域。光学便携式 CMM 将 CMM 的灵活性和有效性、便携式 CMM 的便携性和简易性，及其不易受震动影响的优势融于一身，是车间测量的理想选择。过去几年，此项技术经过多次改进和发展，现在已经能够与 CMM 相匹敌。现在，它们已经整合到检测过程中，甚至成为计量市场中最强劲的竞争者。因此，光学便携式 CMM 会成为计量学的未来吗？