三坐标测量仪在自动化尺寸检验是一种新的技术。三坐标测量仪比传统式量规技术在尺寸检验有更佳的弹性、减少安装时间、改善准确度、减少人为因素和增进生产力。而且对于质量管理目标以三坐标测量仪为基础的尺寸检验提供制程控制信息。由于技术的改善，三坐标测量仪提供更快速和正确的尺寸检验，并且可将组件设计的数据库输入计算机控制的三坐标测量仪做成检验程序。在尺寸测量设备与CAD系统间的DMIS已经被发展完成，藉以双向沟通。在制造整合系统和自动化领域，超强的管制能力和实用性软件允许三坐标测量仪和计算机、机器和CAD/CAM系统联机。测量路径可事先在CAD图面上进行规划并模拟动作，待确认后此测量路径即可转成DMIS格式输出至CNC式三坐标测量仪使用。
目前在大量制造的厂商，如通用GM、FORD、Chrysler等公司为自动测量的领导者。而计算机控制的三坐标测量仪器有速度、准确度、节省劳力及系统整合的优点。因为它有很多好处，所以许多手动三坐标测量仪使用者均改用自动的三坐标测量仪，并发现改用自动三坐标测量仪后，成本控制变得非常容易。而且时间缩短为十分之一，并且保证重复性及准确度。而且CNC式三坐标测量仪允许测量复杂的工件和拥有专用软件，如此可做轮廓测量、扫瞄式测量、数位式测量和齿轮测量。三坐标测量仪欲作自动化尺寸检验，必须由以下几个趋势所共同达成的。
测量速度
在生产环境下对于制程的确认，生产量是机器生产力的指针，而三坐标测量仪的测量率。通常是指每秒测量点数的能力，对于复杂的工件其测量点需在短时间快速移动下测量数十点到数百点。三坐标测量仪最快速的接触式触发探头的测量率可超过每秒测量两点，一些光学式三坐标测量仪的测量速度比传统式的测量快10至100倍。无论如何，测量的准确度必须考虑使用什么种类的三坐标测量仪。
测量精度
三坐标测量仪制造商为了改善机器的精度，因此发展出许多三坐标测量仪的新架构，并利用微电脑做修正。
测量程序及软件
三坐标测量仪可得大量的测量数据，但若不能将此数据转换成有意义的数据，则这些数据便毫无用处，因此需要附加一些程序工具 、统计分析和绘图工具以及数学工具等。
三坐标测量仪一直在技术方面改进，从很多方面和角度出发一直都在提升三坐标的性能，以及优异性，追求做到更先进，更可靠，更实用。