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台湾MEMS制造商TMT(Touch Micro-system Technology)已经获得总部设在加州的制造商Miradia公司100 %的股份，以利用后者的专利技术将其业务从基本的MEMS代工转变为MEMS调制解调器。这一转变很可能是台积电(TSMC)和联华电子(UMC)准备大举跨入MEMS生产行列的信号。
据悉，台积电和联华电子已在2008年下半年完成了MEMS相关设备的部署，预计即将在今年下半年开始批量生产。
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