最近，北京的清华大学交叉信息学院从高科技供应商牛津仪器购置了等离子体设备，并将用于量子计算领域的研究。
交叉信息学院目前正在建设一个新的超净室，并从全球领先的晶圆加工等离子体刻蚀和沉积系统供应商牛津仪器购置了一系列设备，为这项量子计算的研究提供了三套系统：PlasmaPro100 ICP 刻蚀系统，带TEOS的PlasmaPro100 PECVD 沉积系统，和FlexAL ALD 原子层沉积系统。这三套系统具备高性能、高灵活性和操作便捷性，是这类研究的理想工具。
清华大学的副研究员宋博士说：“在对系统功能和成本进行比较，并经过严格的投标过程之后，我们选择了牛津仪器。我们之所以选择购买牛津仪器的等离子体刻蚀和沉积系统，是因为这个全球化的供应商能够提供广泛的工艺和应用、一整套完整的系统、以及为客户提供完美的服务和支持，我们希望能够从我们的前沿研究中获得令人满意的研究成果。
宋博士接着说：“交叉信息学院目标是成为交叉信息学科领域中的世界领先者，同时为中国的计算机理论学科和量子信息学科的研究和教育提供相关便利条件。我们致力于打造并运营一个世界级的量子技术纳米加工平台，为清华大学的研究者和合作者创造利益。
牛津仪器的等离子体技术部门的销售和市场总监David Haynes博士说：“我们的系统一直以来都应用在基础研究和新技术、先进工艺开发中，而这次我们的技术将应用于交叉信息学院的量子计算，这对我们牛津仪器来说是一件非常令人激动的事情。
牛津仪器 Asylum Research简介
Asylum Research是材料学和生物学领域内原子力显微镜技术的领导者。自1999年成立至今一直致力于纳米科技领域内的技术创新。 到目前为止， 研发者的AFM/SPM经验已经超过300年。Asylum Research原子力显微镜广泛的应用于材料科学，生物学，物理学，数据存储，半导体，聚合物，化学，生物材料等领域内的纳米科学研究。包括材料微观形 貌表征;力学性能表征，如DNA单分子力测试、蛋白质折叠测试、聚合物力学以及胶体力学等;材料的电学、磁学以及热学的物性表征等。
Asylum的MFP-3D™ 原子力显微镜为以其空前的精确性和灵活性为大样品扫描的AFM建立了新的标准。MFP-3D系列共有四款产品： MFP-3D Origin最具性价比的高性能原子力显微镜，并具有巨大的升级空间; MFP-3D是目前功能最全面高性能的原子力显微镜;MFP-3D-BIO™ 是唯一构架在光学倒置显微镜平台上用于生物学研究的全功能原子力显微镜;此外我们的 MFP NanoIndenter™ 是基于MFP-3D平台的真正垂直式纳米压痕仪。
Cypher™是目前分辨率最高的快速扫描原子力显微镜，并可实现具有全面的环境控制(Cypher ES)。Cypher具有最低的噪音，最少的热漂移，闭环条件实现原子晶格级的精确成像和测试。轻敲模式的最高成像速度比传统的AFM提高20倍以上(使 用小针尖);Spot-On™自动激光准直系统将操作变得更加简单;内置一体式防震隔音设计使Cypher成为唯一不需要外加防震平台的AFM。 Cypher支持所有主流的AFM/SPM模式。
Asylum Research提供工业界内最佳的售后服务，提供两年或五年的全免费质保以及无可匹敌的客户支持。Asylum在世界各地都设有销售和售后网络，除美国之外，在德国、英国、日本、上海和台湾等地均设有分公司。
如需了解牛津仪器Asylum Research更多产品，请点击：http://www.oxford-instruments.cn/asylum-research
关于牛津仪器
牛津仪器公司1959年创建于英国牛津，是英国伦敦证交所的上市公司，生产分析仪器、 半导体设备、超导磁体、超低温设备等高技术产品。在五十多年的高速发展过程中，牛津仪器公司凭借自身的科研优势，以超前的技术、出色的管理和独树一帜的产 品和服务为全球的科技发展作出了巨大的贡献。牛津仪器现已成为世界著名的科学仪器领域的跨国集团公司，拥有分布于英国、美国、芬兰、德国和中国的十几个工 厂、数十个分公司和办事处，业务遍及全球一百多个国家和地区。
牛津仪器公司始终关注和支持着中国的发展，其产品于40年前就进入了中国市场，与中国的科研、教育和工业界的合作卓有成效。牛津仪器在北京、上海、广州和成都设有分公司或办事处，在上海有生产、研发和全国售后服务中心，为广大中国用户提供及时、有效的服务。