10月9日，由成都高新区企业成都太科光电牵头，协同国内多家大学、研究所和企业实施的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”正式启动。

    国家重点研发科学仪器设备开发项目正式启动

    据悉，“超光滑表面无损检测仪”项目是2016年国家“十三五”重点研发计划首批开发项目之一，也是四川省首个及唯一一个国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”专项项目。

    “这个检测仪相当于微电子芯片生产制造中的‘卡尺’。”成都太科光电总经理赵智亮表示，芯片是由多层构成且呈透明或半透明状态，传统检测设备是单点扫描，效率低，而且会与芯片进行接触，对其造成一定“伤害”。“今日启动研发的超光滑表面无损检测仪，采用非接触式测量和多表面分离算法，以仪器系统化与集成化结合多表面干涉重叠条纹分离算法为突破口，解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈，研发成功后将打破国外公司的技术垄断和价格壁垒。”

    据了解，该仪器主要用于高精度非接触测量，可广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片的关键参数快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统，如大型高功率固体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面形、材料特性等参数测量。

    “项目完成后，将研制数台超光滑表面无损检测仪，形成具有自主知识产权的系列化产品和关键技术与产业化路线，为未来产业化发展提供工艺路线。”赵智亮说，2020年项目研发完成，预计项目验收后三年内，完善仪器产品化所有流程，基本形成产品化的标准工艺流程。