[导读] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室近日成功研制出基于MEMS（微机电系统）技术的电场传感器系列创新产品，已实现小批量生产和应用。产品已在航空航天、智能电网等多领域。
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室夏善红研究员团队经过十余年的深入研究，成功研制出基于MEMS(微机电系统)技术的电场传感器系列创新产品，包括地面大气电场传感器、探空大气电场传感器、三维电场传感器，以及面向智能电网应用的电场传感器，于2013年9月通过了产品设计定型鉴定，已实现小批量生产和应用。
该系列产品的特点有体积小，空间分辨率高，功耗低;无电机磨损部件，稳定性好，可靠性高；可同时测量静电场和交变电场;可用于单点电场探测或区域多点无线组网电场探测。
产品已在航空航天、智能电网、气象等多个领域的二十余家单位使用，受到用户的一致好评。
据业内预测，随着全球电子制造业继续向中国转移，预计2013年至2015年，中国MEMS市场将继续保持两位数增长，到2016年，中国MEMS市场销售额预计将超过350亿元。