XENOS

0.3 + L/1,000 μm

XENOS采用了全新的机械设计理念。与标准桥式测量机不同：Y导轨分布于侧壁顶部，分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动，更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称真正的优势。更低及恒定的移动重量造就了加速及最高速度的完美统一。

XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速极快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的极高定位精度。例如，测针偏移量越恒定，即可获得更佳的测量精度。于测量曲面时更显见另一优势：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的精确性。

XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司最新的中央驱动技术可实现最佳的同步控制。该技术可据X轴位置完美分布驱动力。作为最新控制系统及算法之完美结合，这是在整个测量范围内获得最佳测量精度及运动稳定性的关键因素。

XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用。与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%，而刚性则可最大提升30%，同时减重20%。与钢材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可获得两倍的刚性。

XENOS采用蔡司VAST gold测量探头。在研发过程中，蔡司在测量精度和测量重复度方面对该探头进行了优化。XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与最大长度为800毫米的测针以及最大重量为500克的测针配套使用，包括非对称型测针。

全新强化处理气浮轴承具有更佳的稳定性及测量精度。

通过全新的电子设计，移动线缆对精度影响显著降低。计算机辅助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技术在获得最大测量精度的过程中扮演着日趋重要的作用。