微机电系统(MEMS)与传感器融合发展,已经成为近年来的主流趋势。在经过了迅速发展后,MEMS传感器未来又将会向哪些领域开拓和发展呢?面对这个问题,尽管没有统一的答案,但是无疑在发展的大体趋势上有着共识。
MEMS传感器都体现出了强大的融合能力,比如GPS信息与加速计、陀螺仪、磁力计和高度计等功能的融合等,可以获取更多数据的同时,实现更小的功耗。但是仅仅是传感器的融合,已经不能再满足应用需求,“数据融合”将成为未来发展的主流趋势,以此来预见需求而为你自动提供服务。
这是一个巨大的市场,未来全球各地将遍布数万亿个传感器形成一个网络,更将为ASIC晶圆、MEMS晶圆和硅基板等带来巨大市场需求。目前MEMS与传感器打造着可穿戴产品,未来更将会投入消费性电子以及医疗保健与健身等应用领域,这是未来发展的一大需求。基于MEMS的健康监控设备已经越来越得到美国食品及药物管理局(FDA)的认可,这是医用MEMS的一大发展与突破。医用MEMS与传感器的发展,将会带来更好的医疗服务与更低的医疗成本。
在MEMS医疗保健领域,可植入传感器作为前沿技术发展潜力仍被看好。MEMS传感器能够对人体生理状况进行更加精确的感应与探测,为诊断与治疗提供支撑。可植入MEMS器件必须解决生物不相容的挑战,如不被体液腐蚀,不能划伤人体内的组织等。但是人们显然在不断的征服这一挑战,让MEMS传感器能够在医疗健康领域发挥更大的作用。