近年来半导体行业的快速发展,超高纯316L不锈钢,符合SEMI F20标准,通过真空感应熔炼+真空自耗重熔(VIM+VAR),并使用特殊的工艺处理,对材料进行最大程度的提纯,进一步减少了材料中的的非金属夹杂物和气体成分。EP管(316L,VIM+VAR)是表面经过电解抛光处理,以提高产品内部的平滑性,并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性,电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子。EP抛光产品经 SEM、 ESCA/XPS、AES分析,产品质量完全满足半导体协会 SEMI F20 标准。
基于EP抛光(316L,VIM+VAR)技术的发展,鑫视科shinsco采用国内优秀企业生产的EP管(316L,VIM+VAR)和EP自动阀门,替换了光催化活性评价系统的原有玻璃管路和阀门,并实现了PLC全面控制整套系统,实现了SSC-PCAE光催化活性评价系统的全自动化运行。
SSC-PCAE光催化活性评价系统(Photocatalytic activity evaluation system)沿用半导体行业的真空技术,将玻璃管路和阀门替换为EP管和EP自动阀,实现了整个系统的全自动控制实验过程,全自动在线采样分析,实现了实验中真正的全自动运行。SSC-PCAE光催化活性评价系统主要应用于光解水、全解水、电催化、光催化CO2还原、光催化固氮、光电催化气体产物分析、耐压釜式反应、催化反应的微量气体收集等。
产品优势:
1) 封闭反应的产物气体收集、采样、在线分析的一体化系统;
2) 内置气体磁力增压泵,形成高强压差,实现气体快速混匀;
3) 全系统耐压-14.6psi ~150psi,实现了从真空到10atm的压力覆盖;
4) 应用半导体材料(TiO2、InO、C3N4、CdS等)催化剂的活性评价;
5) 催化剂产氢、产氧、光解水的性能分析;
6) 催化剂二氧化碳还原的性能分析;
7) 系统可配和玻璃、石英、不锈钢、PEEK、PTFE等材料制备的反应器使用
8) 可满足光电反应、气固反应、膜催化、多相反应等特殊实验要求;
9) 系统管阀件全部采用EP(316L,VIM+VAR)管和EP阀,对气体无吸附;
10) 系统即装即用,可兼容任意厂家气相色谱仪,无需额外增加进样阀门;
11) GC测试范围广,氢、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、C1-C5等微量气体;