中图仪器白光干涉光学轮廓仪光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。



产品功能
1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。



中图仪器白光干涉光学轮廓仪可以对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。


产品配置清单
标准配置
1)SuperView W1主机
2)影像系统：1024×1024
3)光学Zoom：0.5×
4)干涉物镜：10×
5)XY位移载物台：自动位移台
6)DELL品牌计算机
7)4.7μm Z向校准台阶块
8)操纵手柄
9)中图W1光学3D表面轮廓仪软件
10)自动多区域测量、自动拼接测量功能模块
11)电气控制柜
12)TGY30-680-30L无油静音空压机
13)仪器工作台
14)仪器配件箱
15)加压充气装置一套
16)产品使用说明书
17)产品合格证、保修卡

可选配置
1）干涉物镜：2.5×、5×、20×、50×、100×
2）光学zoom：0.75×、1×；
3）真空吸附台（尺寸可定制）：4寸、6寸;
4）5孔电动物镜转盘；
5）隔振外壳（1043㎜×1120㎜×1630㎜）