中图仪器SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性

动态测量概述
SJ6000动态测量软件搭配线性镜组、角度镜组或直线度镜组可以进行相应的线性、角度或直线度的动态测量与性能检测。

动态测量包括基于时间的动态测量和基于距离的动态测量，SJ6000动态测量软件可对动态测量数据进行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅与频率分析等。


动态测量应用
1、基于时间的动态测量

机器运动控制性能评价：

(1)运动控制器PID控制参数测试与设置

(2)动后机器的稳定性测试与评价

(3)能运动控制器的微小步幅的测试

振动监视

(1)扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合

(2)机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工

振动频率分析

(1)被测对象的振动频率分析

(2)FFT快速傅立叶变换分析

2、基于距离的动态测量

基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户定的间隔进行数据采集。

3、提供脉冲触发方式采集

CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照定的间隔位置进行数据采集。


SJ6000SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。