用 途:
该设备是加工晶棒参考边(OF面)时定向的专用仪器,是外圆滚磨机床后道工序的配套设备,将外圆滚磨机磨好的晶棒放在该仪器上进行定向;然后到平面磨床上 磨参考面;其定向角度是固定式,客户可根据自己的晶体材料选择不同晶体的角度,如;蓝宝石A、R面;硅、砷化稼、锗(110)面等晶体的角度。(订货时晶 向角度可自选)
特点:
此设备的优点是测量精度高,一台设备的定向、能满足多台平面磨床的使用。标准配置2、4英寸夹具各一套。(订货时夹具尺寸可以选配)
方 法:
把滚磨机床磨好的晶棒放到 V型槽专用夹具中,放到工作台上,使定向头慢慢向下移动直至碰到晶棒为止,打开射线光闸测量其晶向,然后慢慢转动晶棒找到参考边方向,反复几次准确的找到角度最大值;然后将夹具锁紧,连同V型槽专用夹具一同放到平面磨机床上,磨出参考边。
主要技术参数:
X 射线管
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铜靶,阳极接地,强迫风冷
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管 电 压
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30KVP、全压合闸
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管 电 流
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0-5mA、连续可调
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电源输入
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单相交流220V 、50HZ、 0.5KW
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测量角度
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固定式蓝宝石A向18°55′
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计 数 管
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盖革、电压DC700---1200V
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时间常数
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0.1、0.4、3秒;3档可调
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X窗口控制
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电 磁 光 闸
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测晶棒重量
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20Kg晶棒
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测晶棒直径;长度
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直径2--4英寸、长50-300 mm
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V槽夹具
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标准配置、直径2、4、英寸
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外形尺寸
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长1140×宽650×高1700
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仪器重量
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150KG
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