用途：该仪器专门用于硅单晶棒定向测量，与我公司生产的YX-5Z\6Z及多线切割设备配套使用，最大特点是，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角，X和Y值，并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。
结构：该 仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。计算软件采用国际通常 算法，以度为单位，显示最小精度0.001度，测量精度±0.008度（±30〃），能够测量直径3～8英寸，长450㎜，测量晶面为111、100等。
型号： YX-5D为双测角仪,一边定向计算，一边测片（8英寸）。
YX-5DA为单测角仪，定向计算。
主要参数：
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电 源
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220V 50HZ
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功 率
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0.5KV
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管 电 压
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30KVP
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管 电 流
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0-5mA
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晶棒直径
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3～8英寸
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晶棒长度
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400㎜
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测量晶向
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111、100
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定向精度
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0.008度（±30″）
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角度显示
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以度为单位、最小读数0.001度
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射线窗口
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电磁脚踏光闸
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计算角度
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α与β（X与Y）
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尺 寸
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长123×宽330×高1440
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重 量
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300㎏
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