技术参数:

(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

主要特点:

专利的相干相关算法
0.01nm分辨率
10-20秒测量时间
RMS重复性：0.03A

仪器介绍:

Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。