SFT-110通過自動定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺上，就可在數秒內對樣品進行自動對焦。由此，無需進行以往的手動逐次對焦的操作，大大提高了樣品測量的操作性。

　　近年來，隨著檢測零件的微小化，對微區的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實現微區下的高靈敏度，即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。

    同時，SFT-110還配備有新開發的薄膜FP法軟體，即使沒有厚度標準物質也可進行多達5層10元素的多鍍層和合金膜的測量，可對應更廣泛的應用需求。
   可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置，另有機倉開放式機種，可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量