表面形貌测量仪

XM-200型表面形貌测量仪是在T2450滚子凸度测量仪的基础上（曾获机械工业部科技进步三等奖）吸收国内外同类仪器先进经验经不断改进而逐步完善，用来测量各种机械零件表面微观几何结构和宏观几何形状的多参数精密仪器,本仪器于2008年获得机械工业科技进步二等奖。

特征

• X方向采用高精密滑动导轨作为水平移动的直线基准，导轨移动的距离采用高精度的光栅技术进行计量；
• Z方向立柱也采用高精密滑动导轨，并采用编码器进行测量，由电机-滚珠丝杠系统驱动；
• 可进行粗糙度和轮廓度的测量，可测量、驱动、计算、显示等，系统具有便携功能，可单独使用，灵活方便；
• 测量软件采用 Windows平台，采用国内最新标准定义和评定，数学模型完整；
• 具有调整工作台可进行 Y向及各种摆角调整，用户可根据需要自由选择，调整使用方便，功能齐全；
• 测量参数多，可进行直线度、曲率偏差、双沟各种参数、平行差、高度等参数的测量，并可对机械件的表面形貌如粗糙度等严格按照国内标准进行测量。
• 测量精度高，差动电感传感器测量灵敏性可达 0.01μm以内，X向光栅灵敏性达0.5μm以内，Z方向可进行大量程高精度位移测量，精度达4μm；
• 测量控制部位多，不仅进行传统的 Z方向小位移测量和X方向的位移测量，还可进行Z方向的大位移测量；选用Y方向移动工作台可以测量零件的三维表面型貌。
• 采用微机控制，可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、自动进行量程变换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出，具有标准数据库存储数据。
技术指标

部件名称	内容	部件名称	内容
X方向移动导轨类型移动长度直线精度测量方式	高精度滑动导轨 200mm 0.5 μ m/100mm 光栅计数	Z方向移动(立拄) 导轨类型移动长度驱动方式测量方式	高精度滑动导轨 400mm 滚珠丝杠编码器
轮廓形状测量传感器类别测量范围显示分辨率相对误差半径测量误差	高精度差动电感式 ±0.5mm，±4mm 0.017μm,0.13μm 0.005FS 0.02-0.1 %	附件三维调整工作台旋转工作台	水平、倾角、摆角调整（手动调整，工作台上方有十字V型槽）安装轴承
粗糙度测量测量参数测量范围显示分辨率粗糙度测量误差	GB3505规定所有参数 R a 0.01～10μm 65536:1 2%+4nm	Y 向移动台（选购）导轨类型移动长度直线精度测量方式	三维形貌测量用滚动导轨 100mm 2 μ m/100mm 编码器
可测量参数	GB3505规定所有轮廓、波纹度和粗糙度参数，曲率半径、沟中心距、锁口高、凸度、对数曲线、球基面、沟位置等轴承专用参数。
硬件配置	DELL品牌机、液晶显示器、打印机
测量软件软件平台功能	windowsXP 根据被测工件情况自动选取、自动校正、自动分析，可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、手动或自动进行量程转换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出。可以根据用户要求增减分析处理软件。