单点激光轮廓仪是一款高灵敏度测量表面垂直位移的光学仪器,该仪器利用聚焦激光束在偏离被测表面聚焦点时在光电探测器上产生的微小位移来测量偏离聚 焦的距离。该系统的光学设计使得聚焦偏离量在光电探测器上被放大,从而提高测量灵敏度。该单点激光轮廓仪应用广泛,可作为独立的光学仪器测量物体的表面轮 廓,也可作为测量光伏太阳能电池板厚度的在线测量设备的核心探测器,还可与其他精密仪器联用,作为系统的自动聚焦测量和反馈。该单点激光轮廓仪结果紧凑, 体积小,功能齐全,测量灵敏度高,是精密在线测量的理想选择。
测量微小表面垂直位移
测量表面粗糙度
应用领域
高端显微镜的同轴自动聚焦模块
无接触测量精密高速转子的径向位移
在线测量球体和柱体轴承的核心参数
在线测量光伏太阳能电池片厚度
应用: 太阳能硅电池板厚度在线测量
核心系统配置
型号: MPLF-1100
光源: 532nm或670nm 单模连续激光
信号采集: 高灵敏度光电位移探测器、前置放大、多通道高速模拟/数字转换卡
电脑
操作系统 Window XP
软件系统 信号采集、数据处理
主要性能指标:
位移测量范围: 1mm
位移分辨率: 1nm
主要性能指标:
位移测量范围: 1mm
位移分辨率: 1nm
位移测量精度: 10nm (1s)
横向分辨率: 0.5mm