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HVA 矩形阀 88200 系列

上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。



HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点

1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数

连接形式：

标准或定制法兰

主体材料：

铝

公称通径：

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

压力范围:

1x10E-9 Torr

烘烤温度:

《150℃

适用介质：

水、蒸汽、空气

密封形式：

软密封型

驱动方式：

气动

使用寿命:

1000000 启闭次数

请联络上海伯东邓女士，分机134