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美国 HVA 真空闸阀 21200 系列
美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等完美联用。
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的最大完整性。 在保养方面，支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数
阀门材质：
阀门主体
304不锈钢
焊接波纹管轴封
AM-350
驱动轴和驱动销
硬质不绣钢
密封件
氟橡胶
真空：
压力范围
1x10-9 mbar
漏率
< 2x10-9 mbar l/S
差压关闭
1 bar (任意位置)
开启前最大压力
≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）：
佛橡胶密封
150 °c
驱动方式
手动 60 °c;气动 60 °c
使用寿命：1,000,000启闭次数
公称通径：DN16-320 mm
HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品订货号及2D,3D图展示
DN
Model
KF/ISO-F
ISO-K
CF-F*
mm
inch
Number
3 (Bolted)
6 (Clamped)
0 or 4 (Conflat)
16
0.625
21212-006_
2D
3D
-
2D
3D
40
1.5
21212-015_R
2D
3D
-
2D
3D
50
2
21212-020_R
2D
3D
-
2D
3D
63
2.5
21212-025_R
2D
3D
2D
3D
2D
3D
80
3
21212-030_R
2D
3D
2D
3D
2D
3D
100
4
21212-040_R
2D
3D
2D
3D
2D
3D
160
6
21212-060_R
2D
3D
2D
3D
2D
3D
200
8
21212-080_R
2D
3D
2D
3D
2D
3D
250
10
21212-100_R
2D
3D
-
2D
3D
320
12
21212-120_R
2D
3D
-
2D
3D
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门，超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
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