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HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列
上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为最苛刻的真空环境而设计. HVA 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 最大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀最大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列参数:

阀门材质:

- 阀门主体

304 不锈钢

- 焊接波纹管轴封

AM - 350

阀门密封方式

- 高真空

氟橡胶

真空:

- 压力范围

高真空 1x10-9 mbar

- 漏率

< 2x10-9 mbar l/S

- 差压关闭

2 bar (任意位置)

- 开启前最大压力

≤ 1 bar

烘烤温度（不含电磁阀）:

- 佛橡胶密封

150 °c, 可选配置最大 250 °c

- 驱动方式

手动 60 °c, 气动 60 °c

- 气体

80 psig (5.5 bar)

- 电磁

4.0 Watts

- 供电

120 VAC 50 /60 Hz

- 可选电压

24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC

- 位置指示器,最大

115 VAC
或 28 VDC, 20 mA

使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

公称通径: DN 50 - 200 mm

请联络上海伯东邓女士，分机134