整机采用天然高精密度花岗石，因为花岗石具有永久不会变形的特性，保证了机台的精度稳定及使用寿命。
机台型号

MVS-R322

(X/Y/Z)量测行程(mm)

300*200*200

全机尺寸(mm)

840×975×1605

机台承重量

20Kg

CCD

彩色工业CCD

镜头

Mvotem 12:1 Automatic zoom lens

量测系统

INS-CNC

XY轴移动速度

最大位移速度：600MM/S，加速度：0.18S；

光学尺分辨率

金属贴片,光栅分辨率 0.1um

量测精度,X/Y

(3+L/200)um

Z轴精度

5um

适合环境

温度20-25摄氏度，湿度50%-60%

电源供给

110V-220V±10% 50/60Hz