特点
·大幅提高的驱动速度（X1轴：80mm/s，Z2轴立柱：30mm/s)进一步减少了总的测量时间。
·为了长时间保持横往返直线度规格，三丰公司采用极坚硬的陶瓷导轨，既抗老化又经久耐磨。
·驱动器（X1轴）和立柱（Z2轴）均配备了高精度线形编码器（其中Z2轴上为ABS型）。因此，在垂直方向对小孔连续自动测量、对较 难定位部件的重复测量的重复精度得以提高。
·在与CNC机型配套使用的众多外设选件的支持下，可实现自动测量。
·表面粗糙度测量，直线度：±（0.05+0.001L）μm
·符合JIS＇82/＇94/＇01,ISO,ANSI,DIN, VDA等表面粗糙度的国际标准。
轮廓测量技术参数
X1轴
测量范围:100mm或200mm
分辨率: 0.05μm
驱动速度: 0-80mm/s外加手动
测量速度: 0.02-5mm/s
移动方向 :向前/向后
直线度0.8μm/100mm，2μm/200mm 以X1轴为水平方向上
直线位移精度(20℃时) :
±（1+0.01L）μm（SV-C3200S4,H4,W4）
±（0.8+0.01L）μm（SV-C4500S4,H4,W4）
±（1+0.02L）μm（SV-C3200S8,H8,W8）
±（0.8+0.02L）μm（SV-C4500S8,H8,W8）L为驱动长度（mm）
倾角范围: ±45°（带有×1轴倾斜单位）
Z2轴（立柱）
垂直移动: 300mm或 500mm
分辨率: 1μm
驱动速度:0-30mm/s外加手动
Z1轴（检出器）
测量范围 : ±30mm
分辨率: 0.04μm（SV-C3200） 0.02μm（SV-C4500）
精度（20℃）: ±（1.6+｜2H｜/100）μm（SV-C3200） ±（0.8+｜2H｜/100）μm（SV-C4500）
测针上/下运作: 弧形移动
测针方向: 向上/向下（SV-C3200） （上下可连续测量）（SV-C4500）
测力: 30mN（SV-C3200） 10，20，30，40，50 mN（SV-C4500）
跟踪角度: 向上:77°,向下:83°
测针针尖 尖端半径：25μm,硬质合金尖端
表面粗糙度 测量技术参数
X1轴
测量范围 : 100mm或200mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度 : 0-80mm/s外加手动
移动方向; 向后
直线度: （0.05+1L｜/1000）μm（S4, H4, W4型） 0.5μm/200mm（S8, H8, W8型）
垂直移动:300mm或500mm
检出器
范围/分辨率:800μm/0.01μm，80μm/0.001μm，8μm/0.0001μm
检测方法:无轨/有轨测量
测力 :0.75mN或4mN
测针针尖:金刚石，90°/5μmR (60°/2μmR)