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精密测量显微镜

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一、精密测量显微镜——用途

 

精密测量显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的。作为高级金相显微镜使用,可用来鉴别和分析各种金属和合金的组织结构,可广泛应用在工厂或实验室进行铸件质量的鉴定、原材料的检验或对材料处理后金相组织的研究分析等工作。

 

二、主要技术参数

 

 

目 

类    别

放 大 倍 数

目视场直径(毫米)

超宽视场平场目镜

10倍

Φ26

0.1mm十字分划目镜

10倍

Φ22

 

 

物 

类  别

放大倍数

数值孔径(NA)

系 统

工作距离(毫米)

 

95mm平场无限远长工作距离复消色差

 

5倍

0.15

 

 

44

10倍

0.30

34

20倍

0.35

29

50倍

0.50

17

 

 

显微镜的总放大倍率

物  镜

目  镜

镜筒系数

总放大倍数

5X

 

 

10X

 

 

1X

50X

10X

100X

20X

200X

50X

500X

 

 

  

  

  

  

光学系统

无限远光学系统

调焦方式

电动调焦

观察头

三目正像(带有0.3XCCD适配镜)

仪器基座

大理石

镜筒透镜

焦距f=250毫米

显示装置

调零、方向转换、数据输出、TTL讯号

偏光装置

检偏镜可360°旋转。起偏镜和检偏镜均可移出光路

照明方式

落射照明(12V50W卤素灯),下照明(5WLED)

载物台

XY行程200mm×200mm。测量方式:计量光栅。分辨率:0.001mm浮动的功能: X和Y轴快速移动功能  

选购件

1、300万像素、500万像素、800万像素、1000万像素COMOS。

2、二维测量软件

3、物镜:2X、100X

4、显微光谱仪

 

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