产品介绍:
全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,方便使用的正像光学系统,是理想的检测半导体器件的工具,支持3种激光波长,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。
技术指标:
● 人机工程头部
M-1000双目观察头可以在3°- 30°转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。
● 管镜
M-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化,1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率。
● 光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光100%的进入 光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或 激光器。
● 偏光观察
主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。
● 调焦机构
M-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构最大可承载45磅(20.4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后,仍然能够正常工作。
● 转换器
M-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。
● 物镜
M-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。
● 数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上,组成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。
● 照明系统
采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。
● 探测工作站
M-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。
● 激光装置
M-10000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。
注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而产生的安全和性能问题,麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。
M-1000主要技术参数
铰链式三目头 |
图像 |
正像 |
瞳距 |
调节范围 55-75mm |
视场直径 |
24mm |
分光比 |
可通过光路切换拉杆自由切换(双目头:第三目=100:0或50:50) |
主体 |
管镜 |
1X(可对紫外及红外线进行优化),2X |
激光的使用 |
拉出光路切换拉杆即可 |
|
可应用的激光 |
1064/532/355 nm NWR laser |
|
调焦机构 |
粗微调手轮 |
调焦行程:50mm;粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转 |
调焦机构最大承重量 |
20.5kg |
摄像接头 |
C-Mount接头 |
照明系统 |
同轴垂直照明,可变孔径光栏 |
冷光源(选配) |
150W冷光源照明器及工业显微镜光纤(2m) |
物镜转换器 |
四孔物镜转换器,中心可调,可拆卸 |
物镜(选配) |
长工作距离平复消色差物镜 |
2X, 5X, 10X, 20X, 50X |
超长工作距离复消色差物镜 |
50X, 100X |
可调焦长工作距离复消色差物镜 |
2X, 5X, 10X, 20X, 50X |
可调焦超工作距离复消色差物镜 |
50X, 100X |
NIR超长工作距离复消色差物镜 |
20X, 50X |
重量 |
主体:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg |