特点
·本三丰Surftest SV-3100系列产品可进行高精度、高水平分析,多功能3D表面粗糙度分析,微细轮廓测量,以及原有的表面测量
·自动调水平工作台、3轴调整台等外部设备的应用,有效增强了该产品的操作性能,同时也真正实现了自动测量。
·安装了数据分析软件FORMTRACEPAK。FORMTRACEPAK对从车间到实验室中得到的数据进行统一格式的管理。
·采用陶瓷制作的X1轴驱动部导轨,因为陶瓷具有极好的防磨损性能。无需润滑油也能正常工作。
·为了保证高精度测量,内置了高精度的玻璃尺(X1轴分辨率:0.05μm,Z2轴分辨率:1μm)。
·配有多种功能,如“直线度补偿功能”,可确保X轴的线性精度;“圆度补偿功能”,可保证测针的垂直移动;以及“针尖半径补偿功能”等。
·测针和测针导头都可轻松替换。可选测针和导头可适应各种粗 糙度测量的需要,如小孔测量、深孔测量等。
·配备了易于操作的控制箱,其与主机分离,可进行开始/停止测量、返回以及远程进行其他操作。驱动部的上/下位置和X轴的移动都可手动进行微调。
技术参数:
驱动部
测量范围 : 100mm或200mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度 : 0-80mm/s
垂直移动: 300mm或500mm
检出器
范围/分辨率: 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
检测方法: 无轨/有轨测量
测力 : 0.75mN或4mN
测针针尖: 金刚石,90°/5μmR (60°/2mR)