结合显微镜实现小尺度次材料三维形貌/变形测量,视场范围1.6*1.2 mm2至16*12 mm2。具备自动敬慕标定装置,软件操作简单,多种数据输出功能。
各放大倍数下微观三维测量系统的精度
放大倍数
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视野范围
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Xw方向误差(μm)
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Yw方向误差(μm)
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Zw方向误差(μm)
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0.4
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16×12 mm2
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0.380
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0.464
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6.339
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2.5
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2.5×1.8 mm2
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0.078
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0.092
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1.216
|
3
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2.1×1.6 mm2
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0.063
|
0.065
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1.160
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3.5
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1.8×1.4 mm2
|
0.065
|
0.063
|
0.988
|
4
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1.6×1.2 mm2
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0.046
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0.057
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0.772
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