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热分布式热式质量流量计生产厂家专业制造商——河北景县科瑞仪表有限公司官方网站http://www.hbkryb.com 编辑在今天清晨七点,为大家详细介绍热分布式热式质量流量计的那些事……本类仪表适用于测量小流量微小口径的清洁气体,应用于精细制造工艺和微小流量采样控制等。(1)半导体工业应用半导体工业曾是热式质量流量计主要服务对象,热式质量流量计是应承半导体业需求的推动而得到蓬勃发展,应用于扩散、氧化、外延、等离子刻蚀、溅射等工艺设备中,测量和控制超净气体或腐蚀/有害气体流量,如氢、氨、氟化氢、三氟化氮、氧化氮、砷化三氢、磷化氢等,1995年世界范围内半导业仍购置了三千余万美元的热式质量流量计,约占热式流量仪表市场的1/3。(2)分析仪器采样气体测量气体色潜仪和环境保护等分析仪器气体取样量或大气采集量所用的配套用流量仪表,原常用浮子流量计,现在凡要求较高者渐被气体热式质量流量计所代替,其应用非常普遍。(3)机械构件密封性测试和尺寸精密测量例如测量阀门等机械构件气密性指标中的气体泄漏量,测量小孔尺寸和过滤材料透气性测试等。(4)化工、石油等流程工业微型试验装置中微小气体流量的测量和控制。(5)其他应用:光导纤维制造;电厂氢冷发电机氢气补给量测量;燃烧喷嘴天然气流量测量与控制;热处理炉保护气或渗碳气充气量;医学保健氧气或麻醉剂气流量控制等。热分布式热式质量流量计生产厂家专业制造商本文网址:http://www.hbkryb.com/News/193.html |
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