激光干涉仪API XD

技术参数：

五维（XD-5D）：

1. 线性精度：0.5ppm

2. 测量范围：40米（1维可选80米）

3. 线性分辨力：0.001um

4. 直线度精度：（1+0.2/m）um或1%显示值

5. 最大测量范围：+/-500um

6. 直线度测量距离：0-40m

7. 偏摆角和俯仰角精度：（1.0+0.1/m）或1%显示值

8. 最大测量范围：+/-800角秒

9. 垂直度精度：+/-1角秒

10. 温度精度：0.2摄氏度

11. 压力精度：1mmHg

主要特点：

1. 方便携带（无控制电箱设计，全套系统总重小于15Kg）

2. 安装简便（两点式调光，无需三角架）

3. 高效测量（一次装调5-6个参数同时测出）

4. 高效补偿（空气温度，材料温度，空气压力）

仪器介绍：

API XD激光干涉仪可以一机两用（干涉仪和自准直仪），同时一次安装可以测量(定位精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角)5-6个参数。API激光干涉仪在不影响仪器使用精度和功能的情况下，对传统激光干涉仪繁琐的光路调整与复杂众多的附件进行了改变。先后开发了LMS和XD型激光干涉仪，该仪器的结构紧凑，光路调整方便（可直接安装在机床工作台或导轨上），仪器体积小、重量轻、更便携。尤其是XD型干涉仪，它改变了LMS型数字传送线的困扰，全程测量实现无线通讯功能。采用干涉镜和控制箱与激光头集成一体的设计理念，设计时充分考虑了系统稳定性，具有同类仪器所无法比拟的高效性、高便携性及多功能的特点。