系统构成
镜筒
弹夹式的灯丝座很容易更换灯丝，稳定的高压电源设计保证了高质量图像
运用 双磁物镜 透镜（ Dual Slit lens） 减少了球差，并且保证了高分辨率
E-T bar 型二次电子探测器提高了检测效率
通过改变探测器上的法拉第盒电压可进行二次电子 / 背散射电子（ SE/BSE ）模式转换
较强的电子束流保证能谱仪很高的检测精度
载物台
5 轴 (X ， Y ， Z ，倾斜，旋转 ) 控制， 机械同心轴倾斜平台
-30 °至 90 °优化设计的倾斜角度适用于各种截面观察
载物台移动范围广并且空间大，方便装载多个样品
电子枪
优化了电磁场极间距，平整了电子束的均匀度
可移动孔径光阑方便电子束对中
腔室
具有二次电子探测器、能谱仪、背散射电子探测器、波谱仪等可扩展端口
特殊样品的样品室可定制
真空
标准： 旋转机械泵 + 扩散泵
可选 ：旋转机械泵 + 涡轮分子泵
手动及自动操作
自动真空保护