几何放大倍数 与解析度

2000 倍

光斑点尺寸

5 micron

最佳分辨率

优于 1 micron

光管

钨板透过型开放式光管

光管芯丝结构和费用

每根 FILAMENT 可使用 200 个 X 射线小时，熟练更换只需 30 分钟。每盒含 10 根钨丝。

开机预热时间

一般情况下只需 3-5 分钟，光管打开后需 10-15 分钟左右。

X T ube 抽真空机制

设备自备真空泵可达到很高的真空度要求

冷却方式

气冷

扫描面积

325 （ 375 ）× 300 （ 350 ） mm

最大管电压

0-100KV

最大管电流

10W

X 射线泄露辐射量

小于 1 μ SV/ hr

分析软件

IP(Image Processing) 对检测情况进行分析

可操作性、安全性

通过 IXS 软件的控制 ， 被测板的移动、图像放大倍率的变化、 X 射线强度的改变等操作均可由计算机控制实现，软件内部的安全机制会保证被测板和设备的安全性。

X 射线入射角改变装置

5 个自由度（ X ， Y ， Z 轴，旋转，± 45 度平摆轴）

操作系统

WIN 2000