XP-2台阶仪可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力,用于控制各种薄膜的生长工艺,是物理、表面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光学元件及系统的必备表征方法。
XP-2台阶仪带有极低接触力选件、大尺寸200mm真空吸样台、大范围150mmx150mm自动二维自动台阶、光学变焦系统、薄膜应力测试软件等,放上样品后所有操作由鼠标点击软件界面实现,无需手的动作或操作按钮,是真正的全自动!
若选购三维软件还能进行3D测量!
新型XP-2 3D显示软件
Ambios 公司的XP-2仪器的新型3D显示软件具有以多种类型来显示表面轮廓数据的能力。用户可定义的参数包括色彩梯度线、等间距空格、显示模式与等高线等,只需使用鼠标进行点击、拖拉即可完成,用户还可以使用该软件包对数据的显示图进行旋转、定轴(scale)、移动镜头(pan)与缩放 ,就像使用CAD一样简单。
新型的3D显示软件的主要分析特征如下:
多数ASME与ISO标准参数的3D显示;
材料比曲线(方位比)计算;
角度、距离与台阶高度测量;
体积与面积计算;
数据处理工具,如轴倒置与数据旋转等;
缩放与数据重新采样能力;
提取2D轮廓(横截面)进行详细分析;
形态的清除与数据的拉平;
高斯与样条滤波进行粗糙度与波度分析;
利用XP-2获得的0.19x0.52mm尺寸的真实图像
another sample
新型XP-2 样品导航
XP-2软件的最新版本可以让用户利用机动化样品台进行自动的台阶与重复性测量,最多可移动256个预定的位置或移动到特定的X & Y位置上。
新型样品台自动软件包可以让用户在仪器的坐标系统上操作,也可以根据样品本身任意定义坐标系统。举例来说,用户可以在一个feducial(晶片上的一个模片)上,移动到样品的另一侧上(晶片上同排的另一个模片)定义坐标系统,点击 “Teach X Axis”,这时用户就可以在该坐标系统上操作。使用简易操作模式“teach mode”, 用户可以定义样品台移动的256 个独立的位置。