Prisma 四极质谱气体及残余气体分析器

----工藝過程控制的有效手段

緊湊設計--提供給你無敵的靈敏度及檢測範圍

強大的四星軟件--窗口軟件,操作簡單,動態數據交換

優點:

  • 質量數範圍100,200,300
  • 高壓強
  • 烘烤溫度 300度(高真空應用)
  • 可採用90度連接器,節省空間
  • 研究領域強有力的工具
  • 半導體生產, 增強工藝診斷,何實,控制
  • 可進行真空系統潛在問題如洩漏,痕跡氣體,污染等的早期檢測
  • 改進產品質量, 減少消除事故

特點:

  • 經濟
  • 緊湊,易於安裝載現有的鎮空系統上
  • 無敵的靈敏度和檢測範圍
  • 帶有譜庫,幫助識別氣體
  • 結構化軟件,省時,降低可能的錯誤
  • 雙燈絲,長時間工作,減少日常維護
  • 兩個模擬輸入, 四個模擬輸出

應用實例:

  • 檢漏
  • 線性加速器: 高壓環境, 光纖電纜確額保了質譜和控制室通訊的屏避
  • 地理 :芯樣的氣體分析
  • 軍用材料測試 :分析一定壓力溫度材料的出氣
  • 光學鍍膜實驗室 :確定鏡片和系統是否清潔
  • 晶片傳輸 :檢測晶片進入工儀室前表面的吸附和污染
  • 高真空系統 :熱脫附
  • 研發 :高能物理和氣體分析
特點 益處
窗口操作軟件 可靠,所有相關數據可儲存
特殊殘氣分析界面 簡化操作
自動定位 放大器總是工作再合適的範圍
ppb 範圍的檢測極限 適合痕量分析
高的動態範圍 高濃度差亦可檢測
快速LAN光纖接口 大容量數據快速傳送
64個測量通道 編程測量64種質量數/離子流
兩個輸出繼電器 自由選擇開關點,或直接編程控制,實現安全切換
高的質量範圍穩定性 減少校準工作
快速電子放大,高零點穩定,自動飄移調整 測量誤差少

技術指標

PRISMA QMS 200 F3 QMS 200 M3
質量數 1 - 300 1 - 300
探測器 Faraday ,法拉第筒 SEM/Faraday,通道倍增器/法拉第筒
檢測極限(毫巴) 4 x 10 -12 <2 x 10 -14 / <2 x 10 -11
對氬氣的靈敏度(A/mbar) >3 x 10 -4 >100 />1.5 x 10 -4
鄰峰擾動
Mass 40 / 41(ppm) 		<50 <50 /<50
重量( kg) 3 4.4