SGC-II自动椭圆偏振测厚仪

    • 测量范围:1nm~4000nm;
    • 测量最小值:≤1nm;
    • 镀膜折射率范围:1.3 ~ 2.49
    • 入射角:40°~90°  误差≤0.05°;
    • 偏振器方位角范围:0°~180°;
    • 偏振器步进角:0.0375°/步;
    • 仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm;
    • 光学中心高度:75㎜;
    • 允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;
    • 外形尺寸:730 x230X 290;
    • 主机重量:30kg;


本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分,外观参看右图。

1、 光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。

2、 接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。

3、 主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。

4、电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。