用以测量表面光洁度，刻线或度层的深度，配以各种附件还能测量粒状，纹路混乱和底反射率的表面。同时还可将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。

主要技术规格
不平深度测量范围：0.03---1μm（▽10----▽14）
放大倍数：500×（目视）；168×(照相）
视场范围：￠0.25mm（目视）；0.15×0.21mm（照相）
工作距离：0.5mm
测微器分划值：0.01mm