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S－3500N扫描电子显微镜是日立公司新开发的用PC机控制的SEM系列。S－3500N是可变压力型SEM，使用Windows NT操作系统，为用户提供了一个舒服的GUI工作环境。 hitachi
特点：
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在传统高真空度及可变压力的两种模式下分辨率高。在高真空度的模式下保证3.0nm分辨率。在低真空模式下保证4.5nm的分辨率。
独特的VP（可变压力）模式操作VP模式允许各种样品在自然的状态下成像，如湿的、油状的、绝缘样品，无需传统的制样技术。
PC机控制电子器件舒适的GUI（图形用户界面）工作环境鼠标拉动菜单改变操作模式，样品舱内压力设定范围为1Pa到270Pa。
可选附件范围广
优中心样品台、冷却样品台
使用可选配的软件通过鼠标控制或键盘操作，可以与EDX联连 |
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技术指标
| 分辨率 |
3.0 nm (25 kV, 二次电子成像)
15 nm (3 kV, 二次电子成像)
4.0 nm (25 kV, 背散射电子成像) |
| 放大倍率 |
5x ~ 300,000x (65 级) |
| 加速电压 |
0.3 ~ 30 kV |
| 可变压力范围 |
1~ 270 Pa |
电子光学
电子枪 |
U形钨灯丝 |
| 枪偏置电压 |
与加速电压相关，可变电压提供（双偏压） |
| 图像飘移 |
±20μm (W.D.=15 mm) |
| BSE 检测器 |
闪烁体型 |
| 样品尺寸 |
150 mm dia. (标准样品室)200 mm dia. (大样品室) |
| 样品台(选一) |
(1) 超级优中心样品台
X: 32 mm, Y: 32 mm, Z: 5 ~35mm
T: -90 ~ +90°, R: 360°
(2) 大优中心样品台
X: 100 mm, Y: 50 mm, Z: 5~40 mm
T: 0 ~ 60°, R: 360°
(3) 具有5轴马达驱动装置大优中心样品台
(4) 标准样品台
X: 80 mm, Y: 40 mm, Z: 5~ 35 mm
T: -20 ~ +90°, R:360°
(5) 冷却样品台
温度： -20 ~ +10 X: 15 mm, Y: 15 mm,
Z: 15 ~ 35 mm, T: -45°~ +45°, R: None
(2)和(4)可选2轴驱动装置,仅限X和Y轴 |
| 显示器 |
大屏幕XGA 彩色显示器(1,024 x 768 pixels) |
| 操作/显示 |
PC/AT兼容，操作系统：Windows NT |
| 操作平台 |
鼠标，键盘，功能旋钮 |
| 文字输入 |
内置 56 x 28 字符 (最大) |
| 图形输入 |
内置 |
| 字符数据帧 |
内置 |
| 自动功能 |
自动亮度和对比度,自动聚焦,自动象散校正及聚焦(ASF)，自动摄像,自动电子枪校准,自动调整灯丝饱和度，自动摄像，自动启动,完全自动操作 |
图像储存
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640 x 480 pixels; 1,280 x 960pixels; 2,560 x 1,920 pixels
循环过滤,帧集成,4分割图像 |
| 成像过程 |
显示，灰度转化 (LUT) |
| X射线分析 |
工作距离：15 mm
X射线出入角： 35℃
X射线模式：内置 |
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