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为满足工业发展的需要，日立研发了一台紧凑型的扫描电子显微镜(SEM)S-2600N 。无论有经验的操作人员还是新手都会发现使用S-2600N是如此的简单。通过一个智能化的软件，S-2600N可以引导操作者完成从最初条件设置到最终图像采集的所有操作步骤。
特点:
1. 很小的占地面积
2. 可调压显微镜
3. 容易操作
4. 三维的维护录像指导
技术指标
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二次电子分辨率
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4.0nm 保证指标 |
| VP可变压力方式分辨率 |
5.0nm 保证指标 |
| 放大倍数范围 |
15x～300,000x |
| 加速电压 |
0.5kV～30kV |
| 最大样品尺寸 |
60mm直径 |
| 电移动图像的范围 |
±10μm～±40μm |
| 样品移动 |
优中心样品台
X: 20mm
Y: 10mm
Z: 5~35mm
R: 360°
T: -20°~+70° |
| 检测器 |
SE检测器
四分割立体BSE检测器 |
| 操作语言 |
英语（日语）
计算机操作系统，PC兼容，Windows NT |
| SEM操作 |
鼠标、键盘
旋钮控制盘（选件） |
| 显示器 |
17″CRT×GA / 15″LCD×GA |
| 自动调节功能 |
自动聚焦，自动象散校正,自动亮度和对比度调节 |
| 数字像素 |
自动灯丝饱和度调节 |
| 图像格式 |
640×480，1280×960，2560×1920(选项) |
图像数据条显示 |
BMP, TIFF, JPEG
加速电压，放大倍数，
微米标尺，WD(工作距离) |
| 真空 |
真空度水平，日期，数据号，文字，图形等 |
| 系统保护 |
全自动
失真空和缺水保护 |
| 电子光路 |
电子枪：U型钨丝 hitachi
枪偏置：自动偏置 |
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