硅片厚度测量仪

n 硅片厚度数据的管理方法

1 、 数据收集功能(选配)

用 RS-232功能+数据计算环软件的组合,在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。

2、打印功能

在显示部件上连接选配的 BCD输出打印机,在每个工程测量时,测量数据就自动的进行打印输出。

n 特长

适用于各种硅片的尺寸( 3 , 5 , 6 , 8 , 12 英寸)

更换规格时(更换档位销)

用提升杠杆发打印输出指令(给打印机或 PC )

型号

6 英寸用

8 英寸用

12 英寸用

商品编号

09002501

09002505

090025011

精度

(温度 20 ℃± 1 ℃)

累积指示误差± 0 . 15 μ m 行程 3 mm 以内 重复精度 0 . 2 μ m ( 20 )

测量部

传感器

PH-01

测力

1 . 2 ~ 2N/0 ~ 5 mm

硅片直径

φ 3 ″,φ 4 ″,φ 5 ″,φ 6 ″

φ 3 ″,φ 4 ″,φ 5 ″,φ 6 ″,φ 8 ″,

φ 3 ″,φ 4 ″,φ 5 ″,φ 6 ″,φ 8 ″,φ 12 ″

收张行程

5mm

5 mm

5mm

尺寸

160(W) × 175(D) × 185(H)mm

200(W) × 210(D) × 185(H)mm

300(W) × 291(D) × 185(H)mm

显示部件

形式

DH-151

显示部

绿色荧光显示管

显示位数

7 位及[—]号

最小显示量

0 . 0001 mm ( 0 . 1 μ m )

尺寸重量

278(W) × 300(D) × 81(H)mm, 约 2 . 7kg

电源

AC85 ~ 250V , 50/60HZ, 10VA

电源电缆

3m AC 可分析