型号

6 英寸用

8 英寸用

12 英寸用

商品编号

09002501

09002505

090025011

精度

（温度 20 ℃± 1 ℃）

累积指示误差± 0 ． 15 μ m 行程 3 mm 以内 重复精度 0 ． 2 μ m （ 20 ）

测量部

传感器

PH-01

测力

1 ． 2 ～ 2N/0 ～ 5 mm

硅片直径

φ 3 ″，φ 4 ″，φ 5 ″，φ 6 ″

φ 3 ″，φ 4 ″，φ 5 ″，φ 6 ″，φ 8 ″，

φ 3 ″，φ 4 ″，φ 5 ″，φ 6 ″，φ 8 ″，φ 12 ″

收张行程

5mm

5 mm

5mm

尺寸

160(W) × 175(D) × 185(H)mm

200(W) × 210(D) × 185(H)mm

300(W) × 291(D) × 185(H)mm

显示部件

形式

DH-151

显示部

绿色荧光显示管

显示位数

7 位及［—］号

最小显示量

0 ． 0001 mm （ 0 ． 1 μ m ）

尺寸重量

278(W) × 300(D) × 81(H)mm, 约 2 ． 7kg

电源

AC85 ～ 250V ， 50/60HZ, 10VA

电源电缆

3m AC 可分析