ULTRA 系列性能包括：

“亚微米级”精度
花岗岩工作台,全气浮防震基座
加强型单晶陶瓷横梁和主轴
三轴自适应微隙气浮导轨
全功能模块化集成数控系统
测量范围 1000×700×600mm-25000 ×1000×800mm
空间精度： 0.7 μ m+L/600
高精度扫描： 1.5 μ m