名　称：	UG422
型　号：	422
测量范围(mm)X：	400
测量范围(mm)Y：	200
测量范围(mm)Z：	200
探测系统：	PH6+TP20
分辨率：	0.1μm
示值误差（μm）：	2.5+L/300
探测误差（μm）：	2.8
UG系列测量机设计封闭框架结构,工作台移动组成，是西安爱德华公司特有的技术。其先进的机械结构设计确保了系统整体的高精度及高稳定性，并将接触式测头、光学式测头及激光扫描测头等多种测头模式集为一体，以确保完成几乎所有的测量任务。先进的高精度CCD成像技术与先进的图像处理技术完美结合，可实现特殊的测量要求具有计算机编程控制光学照明（顶光、底光和环形光）技术，是工件表面照明均匀，提高了测量的高精度和可靠性。三轴在机械上相互独立，运动互不干扰，从而确保了系统的高稳定性。 Y轴运动采用中央驱动，避免了Y向运动中的偏摆，提高了Y轴的运动精度三轴导轨均采用优质花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，钢性好、动态几何误差变形最小。三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，运动更平稳。光栅的布置接近被测工件，遵循了阿贝误差原理，减小了系统误差。驱动系统采用进口高性能直流伺服电机、进口摩擦杆传动装置，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。 Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。