技术参数
| 测量原理 |
触针式LVDT测头 |
| 测量参数 |
Ra (Ra75),Rq,Ry,Rmax,Rt,Rz,Rz5, Rz3, R3z, R3zmax, RzmaxD,RzD, Sk, Ku, Pc, HSC, PPI, Rpm, Sl, Sm, S, Rp, Rv, θa,θq,△a, △q, K,tp, bC, ADC, FFT, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2,Wca, Wcm, Wea, Wem,直线度，缝隙，坐标等 |
| 测量长度 |
垂直 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 50000, 100000, 200000, 500000,
水平 1, 2, 5, 10, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000 |
| 测量范围 |
垂直: 600 um, 水平: 100 mm |
| 评定长度 |
0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm/λc x 1, 2, 3, 4, 5 |
| 移动速度 |
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 毫米/秒（测量时）, 5, 10毫米/秒 |
| 取样长度 |
表面粗糙度 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm and un-filtered
波纹度 fl 0.8, 2.5, 8, 25mm fh 0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm |
| 滤波 |
Gaussian/2CR/特殊 Gaussian |
| 采样点数/分辨率 |
最大32000点/16bit |
| 自动消偏 |
最小二乘法，二点法，R曲线较正，二次方程曲线较正 |
| 功能 |
模版，平均处理，统计处理，不连续测量，重复计算，描述，灵敏度自动校正，单位转换（毫米/英寸）， 自动测量，缺口处理，轮廓尺寸变化处理 |
| 底座和立柱 |
底座600*315毫米，重量70KG，自动截止精度±2.0微米（放大100000, 带导头时），测头上下移动范围250毫米 |
| 水平支撑台 |
160*50毫米，测量方向带V型槽，旋转±3度，斜度±3度， Y轴进给量±3毫米 |
| 测头 |
R2微米，0.7mN，钻石头 |
| 尺寸 |
主体：600*400*593毫米， 80公斤
计算机：900*600*520毫米，30公斤 |
| 电源 |
AC90-120伏， 50/60赫兹，800瓦 |
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可测量表面粗糙度，波纹度，直线度和形貌 
测量单元