产品名称：		VMR-3020/NWL860T 影象测量系统
详情：		自动化晶圆测量系统，具有晶圆装载/挟载系统，可以自动测量晶圆基底的全部内容。特点，专用软件实现基底依次全自动测量，用GUI帮助对所测晶圆进行选择，经过业界考验的NWL-860T晶圆装载器确保晶圆传送稳定可靠。如果与VMR-3020 Z120X一起使用时，可以测量晶圆上的微小尺寸。