Nikon高精密全自动影像量测系统NEXIV
高精度全自动影像量测系统VM-250/500N/1000N/VMR-3020/VMR-6555
◎载物台行程:250×200×150/500×530×150/1000×800×150/300×200×150/650×550×150mm可供选择。
◎Z轴高精度量测:使用雷射;重现性0.5μm
◎点、线、弧、圆、椭圆、pitch 量测及特殊形状量测模式
◎五阶段放大倍率27.5~275倍
◎2.5×及5×辅助镜解析至680×~1,375×
【光源】
(a) 底部表面光源
(b) TFI-30,斜角度(30~60)之光源
(c) Laser TTL高倍辅助镜光源
(d) TTL透过透镜之光纤光源
另可提供彩色荧幕,看实际产品颜色及打印scan laser扫描物体轮廓,利用Best Fit求最小公差
程式copy功能:位移、角度及影像copy方式
可量测XZ、YZ平面上之弧、角度及轮廓
取点:当工件异位可自动搜索,侦测正确位置
软体提供连线作报告表格及统计分析
|