SUMMIT

高精度、大量程非接触式测量仪

  • U2(xy平面)=(2.0+L/250)μm
  • 0.1μm分辨率
  • 高速DC伺服马300mm/sec
  • 可选配的无电刷线性直流伺服电机控制500mm/sec
  • 双放大倍数光学系统
  • Windows2000操作系统下View测量软件
  • 客户自定义界面
  • M多元传感的照相机和激光探头
  • 具有专利的可编程的环光(多种颜色LED版本)
  • 独有的边缘寻边的算法

 


 

Summit 450 技术指标
测量范围 450×450×150mm (18×18×6in)
机器尺寸(W×D×H) 1016×1460×1930mm (40×57.5×76in)
重量 1136 kg
Summit 600 技术指标
测量范围 450×450×150mm (18×18×6in)
机器尺寸(W×D×H) 1016×1460×1930mm (40×57.5×76in)
重量 1136 kg
Summit 800 技术指标
测量范围

760×800×150mm

机器尺寸(W×D×H)

1422×1884×1930mm

其它技术
分辨率 标配0.1μm
平台驱动系统 无电刷线性直线伺服电机控制
平台驱动速度 300 mm/sec
载重 35㎏
光学系统 标配,单放大倍数固定镜头光学系统。放大倍数:1.0x-20x
(屏幕放大30x-550x)
光源 标配:LED背光和多色同轴表面光源
选配:多色可编程LED环光
选配:热光源背光,同轴表面光源和具有专利的可编程环光
光学传感器 数字处理高质量单色739×576像素,阵列的OCD摄像机
影像处理 256、8位,灰色级具有5:1-50:1一次像素
软件 VMS软件
计算机 Intel奔腾4处理器、17″SVGA显示器、操作杆、鼠标、键盘
选项 专利的栅格自动聚集
各种微距和微距物镜
高级编程软件;高级语言能力和可编程的完整的输出报告
坐标文件输入以减少“数导模式”的编程
离机编程软件
CAD输入软件
View界面软件(VIP)
操作员程序直接联线到数据分析(只要按执行)
实时SPC分析和报告
型位适配和分析软件
夹具
校准和附件
激光 三角测量和共焦激光传感器
通过镜头的激光传感器
测量精度在20℃(68℉) U2(xy平面)=(1.5+L/250)μm
U1(z轴)=(1.5+L/50)μm
其中L=以毫米为单位的测量长度
全部指标适用热稳定的机器和使用6.6倍物镜在20℃±0.5℃下测量NIST认可的样板