过去很难测量1μm以下的集成电路、金属薄膜、离子注入层等的表面纳米范围内的硬度、强度、变形率等物理性质，如今用此装置可以实现。
● 载荷方式： 通过压力元件将压头从两边顶起
● 最大试验力： 2mN 分辨率 0.1μm
● 深度测定： 0~2μm 分辨率 0.1nm
● 压痕观察倍率：100,000倍以上
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| SPH-1型纳米结构表面检测装置 过去很难测量1μm以下的集成电路、金属薄膜、离子注入层等的表面纳米范围内的硬度、强度、变形率等物理性质，如今用此装置可以实现。 ● 载荷方式： 通过压力元件将压头从两边顶起 ● 最大试验力： 2mN 分辨率 0.1μm ● 深度测定： 0~2μm 分辨率 0.1nm ● 压痕观察倍率：100,000倍以上 |
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