SPH-1型纳米结构表面检测装置

过去很难测量1μm以下的集成电路、金属薄膜、离子注入层等的表面纳米范围内的硬度、强度、变形率等物理性质,如今用此装置可以实现。

● 载荷方式: 通过压力元件将压头从两边顶起
● 最大试验力: 2mN 分辨率 0.1μm
● 深度测定: 0~2μm 分辨率 0.1nm
● 压痕观察倍率:100,000倍以上