Information
该仪器是一种可以在最短时间内检测出试料外表上的0.1μm级异物等的位置的复查式AFM设备。以大型试料观察用设备为基础，具有坐标数据联动功能和基于激光散乱原理的超高精度定位功能，可对微小异物或缺陷进行AFM下的高解析度观察。

Topics
● 新增可处理外形尺寸为300mm的SPA-465设备系统。配备了样品移送装置，可进行C -C间观察。

● 光学式异物、缺陷检查装置与坐标间可实现联动，并使用专用软件，可轻松地对指定异物进行检查。

● 内装暗视野激光散乱装置，可获得直径为0.1μm级的微小异物的光散乱像，并可由此实现与AFM装置的高精度定位。