Information
该仪器是采用了高解析度功能的半导体检测器，可对电镀液、极薄薄膜进行高精度测量。通过微X线束还可对附着在待测物表面上的异物进行分析，或对微小物体的膜厚、成分进行分析。
Topics
● 拥有完备的定量分析软件。（ *块状基础参数 *块状检量线 *薄膜基础参数 *薄膜检量线）
● 尤其适用于多成分合金膜、合金多层膜（最大5层、每层最多10种成分）和薄膜测定（数nm～）。
● 根据待测物尺寸可选5100系列（可对75×75mm全范围内测定）和5200系列（可对220×150mm全范围内测定）。
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