超高精度CNC影像测定机QV-UTRA系列
特长:
各轴的量测精度U1XY=(0.3+L/1000)μ?,为世界最高等级的超高精度CNC影像测定机。
导引方式:为了达到各轴运动精度的最高极限,采用了静压式空气轴承。
测长系使用光学式的线性编码器,最小表示量0.01μ?。光学尺的材质其膨胀系数几乎等於零,所以在读取光学尺时,其在温度变化的误差,可控制在最小的程度。
高刚性的本体,是采用有限元素分析法(???)的最佳设计。