量测范围
800 X 800 mm(x,y)
解析读数
1 um / 0.5 um, 0.1 um Option 
量测软体
QC-5300 - VED - CNC - AF +WIN - XP
电脑硬体
PC + 17 " Color Monitor
取像系统
1/2" Color CCD + ZOOM
放大倍率
15X....100X (option 30X...200X) 
表面灯源
WHITE LED or 150 W Fiber Ring Light(option)
轮廓底光
LED
线性精度
U1 = 4+5L/1000 μm
重复精度
0.003mm
驱动方式
STEP / SERVO Option
传动方式
Air Bearing
操作方式
CNC PROGRAMMABLE 
花岗岩平台
DIN 876, 0 GRADE
(AREA 900 X 900mm 放置面积) 
工作限高
100 mm 
工作限重
40 kgs
外型尺寸
185 x 130 x 160 cm(W,D,H)
(Including PC Cabinet) 
机器重量 
1500 kgs
防尘电控箱
ALLUMINUM ALLOY, DUST - FREE
选购配备
Light - Control or Auto - Zoom
程式控制调光或倍率调整