量测范围
600 X 600 mm(x,y)
解析读数
1 um / 0.5 um, 0.1 um Option 
量测软体
QC-5300 - VED - CNC - AF +WIN - XP
电脑硬体
PC + 17 " Color Monitor
取像系统
1/2" Color CCD + ZOOM
放大倍率
15X....100X (option 30X...200X) 
表面灯源
WHITE LED or 150 W Fiber Ring Light(option)
轮廓底光
12V - 20W Halogen illuminator
线性精度
U1≤ 4+L / 200 μm
重复精度
0.003mm
驱动方式
STEP MOTORS 
传动方式
Linear Rolling Drive Nut 无牙螺杆
操作方式
CNC PROGRAMMABLE 
花岗岩平台
DIN 876, 0 GRADE
(AREA 640 X 640mm 放置面积) 
工作限高
100 mm 
工作限重
30 kgs
外型尺寸
188 x 161 x 153 cm(W,D,H)
(Including PC Cabinet) 
机器重量 
800 kgs
防尘电控箱
ALLUMINUM ALLOY, DUST - FREE
选购配备
Light - Control or Auto - Zoom
程式控制调光或倍率调整